ASML EUV High NA 장비 썸네일형 리스트형 EUV High NA 기술 공부 (1/2) EUV High NA 기술 원리에 대해서.. 유튜브 디일렉 채널을 통해 공부한 내용을 정리한다. (역시 EUV 기술 관련해서는 한양대 안진호 교수님이 최고임.) EUV High NA 장비 : EUV가 통과하는 렌즈 및 반사경 크기를 확대한 설비로서, 렌즈를 키워 넓게 퍼지는 EUV 빛을 많이 끌어모은 뒤, 더욱 선명하고 미세한 회로를 만들겠다는 것 (차세대 EUV의 BA를 0.33에서 0.55로 업그레이드 한 장비로..EUV보다 더 미세한 피치의 반도체 공정을 가능하게 해 주는 장비) 현재 양산 TOOL이라고 볼 수 있는 NXE3400 시리즈 : - 92대 중 약 50%는 TSMC가 보유중으로 추정. - 삼성은 약 24% 보유중 (21년 10월 파운드리포럼에서 확인. 아래 21년 삼성파운드리포럼 캡쳐화면.. 더보기 이전 1 다음
