EUV High NA 썸네일형 리스트형 EUV High NA 기술 공부 (2/2) 어제 작성했던 EUV Hign-NA 기술 관련 공부 2편이다. 1편은 아래 링크 참고하고.. https://yusae8th.tistory.com/125 EUV High NA 기술 공부 (1/2) EUV High NA 기술 원리에 대해서.. 유튜브 디일렉 채널을 통해 공부한 내용을 정리한다. (역시 EUV 기술 관련해서는 한양대 안진호 교수님이 최고임.) EUV High NA 장비 : EUV가 통과하는 렌즈 및 반사경 yusae8th.tistory.com 아래 내용들의 기본 출처는 디일렉 유튜브 채널이다. https://www.youtube.com/watch?v=ZBC7bkc3WyQ 1. TSMC가 자체개발 펠리클을 쓰는 이유 1) ASML이 펠리클을 개발한것이 아니라.. Teledyne(캐나다)에서 개발.. 더보기 이전 1 다음
