[에스앤에스텍] 차세대 EUV High NA 블랭크마스크 개발 소식

뉴스에서 에스앤에스텍이 차세대 EUV High NA 블랭크마스크 개발한다는 소식을 접했다.
얼마전에 있었던 투과도 90% EUV용 펠리클 개발 성공 소식에 이어서 High NA 블마 개발 소식까지 나왔음.

https://m.etnews.com/20211125000038?obj=Tzo4OiJzdGRDbGFzcyI6Mjp7czo3OiJyZWZlcmVyIjtOO3M6NzoiZm9yd2FyZCI7czoxMzoid2ViIHRvIG1vYmlsZSI7fQ%3D%3D

에스앤에스텍, 차세대 EUV '하이 NA'용 블랭크 마스크 개발한다

에스앤에스텍이 차세대 반도체 노광장비로 주목받는 '하이 NA 극자외선(EUV)'용 블랭크 마스크를 개발한다. High NA는 ASML이 개발 중인 노광장비로 인텔이 세계 최초로 도입하겠다고 밝혀 관심을 모으고 있다. 에스앤에스텍은 향후 하이 NA EUV 선제 기술을 개발, 시장을 선점하겠다는 전략이다.

에스앤에스텍은 고유전율(High-K) 재료 기반 EUV 블랭크 마스크를 개발 중인 것으로 확인됐다. 블랭크 마스크는 반도체 노광 공정에서 회로를 찍는 포토마스크 원재료다. 에스앤에스텍은 ASML이 독점 공급하는 EUV 장비용 블랭크 마스크 양산에 성공한 바 있다.

고유전율 EUV 블랭크 마스크는 ASML 차세대 장비인 High NA EUV 장비에 적합한 새로운 형태의 블랭크 마스크다. 일반적인 EUV 블랭크 마스크는 기판 위에 40여개 얇은 실리콘 및 몰리브덴 층, 흡수체 등이 적층돼 구성된다. 반도체 공정 미세화에 따라 이 흡수체 두께도 매우 얇게 만들어야 한다. 반도체 회로 배치가 바뀌는 3D 마스크 효과를 피하기 위해서다. 업계에서는 3D 마스크 효과를 해결하기 위해 고유전율, 무흡수제, 무반사, 위상변위마스크(PSM) 등을 연구 중이다. ASML을 포함, 유럽 반도체연구소 아이멕(imec) 등 연구기관과 일본 호야 등 글로벌 EUV 솔루션 업체가 관련 기술을 개발한다.

에스앤에스텍이 개발하는 High NA용 블랭크 마스크는 기존 흡수체인 탄탈륨 대신 니켈 등 고유전율 재료를 흡수체로 활용할 예정이다. 에스앤에스텍은 다양한 고유전 신물질을 테스트했고 기술 구현에 상당한 진척이 있는 것으로 알려졌다. 내년 일본에서 블랭크 마스크 결함 검사 장비를 확충해 시제품을 생산하는 것이 목표다. 에스앤에스텍은 기존 블랭크 마스크의 다층 구조(멀티 레이어)를 바꿔 High NA EUV에 대응할 수 있는 새로운 구조도 연구 중이다.

에스앤에스텍이 하이 NA EUV용 블랭크 마스크를 개발하는 건 향후 3나노 이하 반도체 공정 시대에 하이 NA 수요가 커질 것이라 기대감 때문이다. 하이 NA 장비는 기존 노광 렌즈 수차(NA)를 0.33에서 0.55로 상향시켜 적은 횟수로 초미세 회로를 새길 수 있다. 마스크 사용 횟수를 줄여 비용을 절감하고 공정 시간을 단축할 수 있다. 인텔이 파운드리 시장 재진입을 선언하며 ASML High NA 장비를 경쟁사보다 빨리 도입하겠다고 밝힌 것도 이 때문이다. 향후 삼성전자와 TSMC도 High NA 장비를 활용할 것으로 예상된다. 주로 3나노 이하 미세 공정에서 High NA가 적용될 것으로 보이는데, 3나노는 5나노 대비 마스크 수요가 20~30% 증가한다.

신철 에스앤에스텍 연구소장은 “High NA 시대를 대비해 다양한 블랭크 마스크를 개발하고 있다”면서 “ASML이 하이 NA 장비를 출시하는 시점에 맞춰 이르면 2023년께 대규모 양산이 가능할 것”이라고 밝혔다.
-> 신철 부사장님이 23년에 대량 양산을 직접 언급한 것을 보면..뭔가가 있는 것 같기는 한데.. (참고로 작년에 EUV 펠리클 관련 발표 시 올해 2분기 내 투과도 90% 펠리클 개발 완료에 대해서 이야기를 하셨고.. 실제로 3분기에 개발 완료 소식이 있었음.. (필자의 21.09.29 포스팅에서도 확인 가능)
참고로..세미콘 코리아 2022 (Feb 9~11, 2022)에서 신철 부사장님이 약 20분간 발표가 있다고 한다. 여기에서 High NA Blankmask관련 발표를 할까?? 내년 2월이 기다려진다 ^^

근데 참가 업체를 찾다보니.. SST는 참가를 안하는 것 같음..(참고로 FST는 참가 확인, 부스 No : D124)

그리고 A부스에서 티씨케이, 리노공업도 확인 (서울 코엑스에서 하는거지만..시간이 되면 가보고싶음)

참가업체 부스 확인은 아래 링크에서 가능
https://expo.semi.org/korea2022/Public/EventMap.aspx?ID=22215

SEMICON Korea 2022 - Event Map

이야기가 잠시 세미콘 코리아 2022쪽으로 샜으나.. 다시 SST 관련 이야기로 돌아가보면..

SST 주가는.. 각종 호재에도 불구하고.. 장기간 3만원대에서 등락을 지속하는 중이다.
하지만.. 작년에 입성 시.. 이녀석은 장기로 보고 가야하는 녀석이라도 판단했고.. 지금도 그 생각은 변함이 없다.. (아직 작년 전고점에 비해서 -57% 수준의 주가를 형성중)

현재 이익 기준으로 PER을 구하면.. 말도 안되는 고평가라고 볼 수 있지만.. EUV용 펠리클 양산 들어가고.. High NA 블랭크마스크 양산 들어간다면.. 이익은 지금과는 비교를 할 수 없겠지..

그러니.. 이렇게 고평가를 받는 것이 아니겠나.. (High PER 주식에 매수해서.. Low PER에서 매도하려 함)

적어도 22~25년까지 기다릴 생각으로 보유중이라.. 필자의 목표주가까지 기다려 볼 심산으로 보유중임.

(이제 입성한지 2년이 다 되어 가는데.. 솔까말.. 다른 녀석들은 1년만에 2배 이상 올라가는데.. 이녀석은 중간에 불타기를 해서 평단도 높아진 상태라.. 수익률은 별로다..  그래서 그런지.. 엉덩이로 투자하는게 생각보다 참으로 힘들다.. 하지만.. 어차피 믿기로 한거.. 최장 4년만 더 믿어보려 한다.)