[에스앤에스텍] 삼성 EUV펠리클 직접 개발 소식 등..

 

 

오늘 국장이 좋지 않았다.. 

에스앤에스텍 주가도 좋지 않았는데.. 조금전에 아래 뉴스를 접하게 되었다. (11시쯤 뉴스가 떴고.. 아마도 그 영향으로 오후에 더 많이 빠진 것 같다.)

 

https://n.news.naver.com/article/030/0002974692

삼성, EUV 공정 필수품 '펠리클' 직접 개발

 

기사 내용도 내용이지만.. 그것보다 더 귀중한 정보를 얻게 되었다. 

나노공정에 따른 펠리클 수량 정보 및 연도별 필요 펠리클 수량 정보이다.

 

자료=업계, 메리츠종금증권리서치센터

 

자료=업계, 메리츠종금증권리서치센터

 

<2020년 메리츠종금 레포트에서 발췌>

 

EUV펠리클 시장 성장 속도가 어마무시함..23년 이후에는 어마무시한 수량이 필요한 것을 알 수 있다. 

이정도 수량을 확보하려니.. 당연히 어느정도 물량은 내재화를 해야겠다는 생각이 있을 것이다.

그리고 당연히 내재화를 한다고 하더라도.. 자체 물량만으로는 저 많은 물량을 소화하기 힘들 것이기에..

일정 물량은 외부에서 공급을 받아야 할 것이다.

 

하지만.. 삼성 자체 개발 소식은 다른점에서 악재가 될 가능성이 있긴 있다.

삼성 자체도 투과율 90%를 충족하는 EUV 펠리클을 생산 할 수 있게 된다면.. 납품 업체들이 가져 갈 수 있는 우위를 삼성에게 빼앗길 가능성이 있다는 점이다.

 

그로 인해서.. 시장에서 받던 HIGH VALUE가 어느정도는 낮아 질 수도 있다고 생각한다.

현재까지는 'ASML+테라다인+미쓰이' 연합만 투과율 90%를 만족하는 펠리클(MK4)을 양산 할 수 있었고..

2번째로 SST가 개발을 성공해서.. 2파전이 될 수 있는 상황이었는데..

 

갑자기.. 고객사가.. 직접 내재화를 발표하고..

5년전부터 종기원 주도로 펠리클 개발을 하고 있었다는 소식까지 더해지면서..

시장에서는 지금껏 SST에 주었던 높은 가치에 대한 하향이 시작 된 것 같다는 생각이 든다.

 

내재화로 인한 시장 충격은..

전기차 관련.. 완성차 업체의 배터리 내재화 뉴스를 겪어본 사람은 잘 알 것이다. 

 

자동차용 배터리의 경우엔.. 직접 생산 시 막대한 투자비가 들어.. 진입 장벽이 높기에..

그 뉴스로 배터리 셀 주식이 조정을 받다가.. 일정 시간이 지난 뒤에는 전고점보다 더 많이 상승하는 결과를 낳기도 하였다. 

 

하지만.. EUV펠리클의 경우는 배터리와는 다르게 막대한 투자금이 필요하지는 않은 부분이라..

기술력만 있다면.. 배터리와 비교해서 진입 장벽이 매우 낮다고 생각한다.

게다가.. 현금 보유 1위 기업인 삼성전자가 한다는데..(돈이 깡패다!!)

아예.. 혼자서.. 시장을 씹어 드시겠다는 소리???라고 생각 할 수도 있을 것 같다.

 

하지만 기사 내용을 잘 살펴보면.. 웃긴 사실을 확인 할 수 있다.

 

'삼성 파운드리 포럼 2021'에서 최길현 삼성전자 파운드리 제조센터장(부사장)은

"투과율 82%의 EUV 펠리클을 확보했으며, 연말까지 투과율 88%까지 끌어올릴 계획"이라고 밝혔다.

 

근데.. 이거 좀 웃기지 않나??? 

 

1.삼성에서는 EUV 펠리클 개발 업체들에게 투과율 90% & transmission uniformity 0.4% 를 요구함.

 

2. ASML은 21년 5월 SMC코리아 세미나에서 - 연내 90.6%투과율 펠리클 (400W 전력 용량 내구성 확보) 양산 계획 밝힘

 

3. 이번에 SST에서 90% 투과율 펠리클 개발 완료 발표. (But..워런티는 85%라고..디 일렉 유튜브에서 그러던데.. 그점이 쪼까 거시기 함 ㅜ.,ㅜ)

- 아래 파란색으로 기록된 내용과 같이 메탈 베이스 2세대 펠리클로 추정됨 : 400W 전력 용량 내구성 확보는 미츠이에서 연내 양산될 펠리클과 같을 것으로 판단됨.

 

4. 근데.. 삼성은 투과율 88% 펠리클을 사용한다고???

- 일단.. 급하니까 그렇게라도 내재화 해서 사용 계획인 것인가?? SST도 보증은 85%라고 하는데.. ASML도 보증은 얼마까지 되는지 알아봐야겠고..

 

*SST 세대별 펠리클 개발 내용 (2020.10.16 기준 네이버 '도생이'님 블로그에서 대부분 인용했습니다.)

 

1. 1세대 펠리클(Si base)

- 투과율 87%, 균일도 약 1.0% 

- 2020년 9월 기사에서 개발 완료 확인- 20년내 양산 계획이라고 기사에 나와있었음.

 

2. 2세대 펠리클 (Metal base)

- 20 x 20 mm 테스트 중

- 투과율 88%, 실측은 88~90%. 90%는 힘들거라고 신철 부사장님이 테크위크에서 업급

- power 400W를 포함한 나머지 optical Spec' 모두 만족, 수명은 wafer 20K

- full size 기준 2Q21까지 개발 및 검증 완료 계획

 

3. 3새대 펠리클 (Nano base)

- CNT가 될지 Graphen이 될지는 미정이나.. CNT가 될 가능성이 높음.

- poser 600W, 투과율 90% 이상이 목표

- 2Q22쯤 개발 및 검증 완료 목표

 

'도생이'님 글은.. 아래에서 확인 가능합니다. - 개인적으로 도생이님 팬입니다^^

https://blog.naver.com/tondekeman2022/222117474506

EUV 펠리클 개발 현황

 

 

여하튼.. 이건 무슨 시츄에이션???

 

그리고.. 아마도.. ASML, SST, 삼성 3개사가 개발했거나.. 개발하고 있는 펠리클은 비슷한 소재 베이스로 예상되는데.. 그렇다면.. 이것은.. 어차피 400W까지에서만 사용이 가능할 것으로 예상된다.

 

23년부터는 ASML에서 High-NA EUV 장비가 나오게 되는데.. (약 3,500억원/대)

아마도 지금까지 개발된 1. ASML 펠리클, 2. SST 펠리클, 3. 삼성 펠리클 모두 그 전까지 사용할 것 같다.

(High-NA EUV = 노광 장비 EUV의 NA(Numerical Apertuer)를 0.33에서 0.55로 업그레이드 한 장비)

 

 

 

그리고.. 현재는.. 다들 EUV펠리클에 관심이 있지만..

EUV용 블랭크 마스크 또한 지속적으로 관심을 가져야 한다.

 

20년 9월 디일렉 뉴스에 나온 내용을 보면..

 

에스앤에스텍은 7·5나노에 적용 가능한 1세대 탄탈륨(Ta) 기반 EUV용 블랭크마스크 제작도 완료했다. 2024년 양산 공정 적용이 목표다. 2022년 이후 2·3세대 블랭크마스크도 내놓을 계획이다. 위상차 마스크(PSM:Phase Shift Mask) 기반이다. 블랭크마스크는 반도체 포토마스크 원재료다. EUV 블랭크마스크는 기존에 사용하던 석영유리(쿼츠) 대신 열 팽창률이 100분의 1 수준으로 낮은 세라믹 소재를 사용한다.
EUV 펠리클과 블랭크 마스크는 용인 신규 팹(Fab)에서 주로 만들어질 계획이다. 

-> 공뭔들 문제로 인해서.. 용인 신규 팹 공장 건설이 지연중이라.. 마음이 아프다.. ㅜ.,ㅜ아래 포스팅 참고.. 

 

https://yusae8th.tistory.com/74

말로만 하는 K반도체 인프라 구축(feat. 용인시)

 

그래서..필자의 생각은??

 

- 금일 삼성의 펠리클 자체 개발 소식이 그닥 악재가 아닌 것 같은데.. 시장에서 괜히 놀라서 폭락시킨 듯..

 

삼성이 자체 개발을 하고 있었다는 소식은 진즉에 오픈된 내용이었다고 하니..

뭐.. 딱히 악재가 아닌 것으로 생각됨. 

 

 

그래서.. 오늘의 결론은??

 

 

아직 SST 팔아야 하는 이유를 모르겠음.